潔淨等級
1963年,美國潔淨(jìng)室標準FED-STD-209中,按每立方(fāng)英尺(chǐ)中≥0.5mm粉塵數量的*允許濃度,將(jiāng)潔淨室分成若幹等級,如100級、10,000級、100,000級。世界上許多國家都加以效(xiào)仿。
1999年,國際標準化組織ISO頒布了一項國(guó)際標準《ISO14644-1潔淨室與受控潔淨環境》*部分:空氣潔淨度分級。標準中采用了新的(de)分級。
2001年,中國新頒布的潔淨室設計標準中采用了ISO分級。
電子工業和製藥業是與潔(jié)淨室關係*密切的兩個行業。ISO標準一出現,電子(zǐ)行業立刻改用ISO標準定義的潔淨室級(jí)別,而製藥業目前仍沿用老的潔淨級別規定。中國1998年版GMP規範中比前(qián)一版增加(jiā)了個30萬級。


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